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  Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie

Dozent/in
Julius Marhenke, M. Sc.

Angaben
Seminar
Online/Präsenz
2 SWS, benoteter Schein, Anwesenheitspflicht, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 2,5
nur Fachstudium, Sprache Deutsch, Anmeldung über StudOn; Kenntnisse aus "Technologie integrierter Schaltungen" und/oder "Prozessintegration" werden vorausgesetzt.
Zeit und Ort: Di 14:15 - 15:45, 0.111; Bemerkung zu Zeit und Ort: Die Teilnahme an der Vorbesprechung ist obligatorisch.

Studienfächer / Studienrichtungen
WPF ME-MA-SEM-EEI 3
WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF ME-BA-SEM 3-6

Inhalt
Ziel des Seminars ist die selbstständige Erarbeitung und schlüssige Darstellung eines Themas aus dem Gebiet der Silicium-Halbleitertechnologie. Als Grundlage dienen dabei Literaturvorgaben der Betreuer, die durch eigene Recherchen ergänzt werden sollen. Die Teilnehmer referieren im Rahmen eines 30-minütigen Vortrags über ihre Ergebnisse. Die Einzelthemen werden in jedem Semester aus einem anderen Schwerpunkt gewählt. In den letzten Semestern wurden beispielsweise Schwerpunktthemen wie "Bauelementetechnologien", "Mikrosystemtechnik", "Kontamination in der Halbleiterelektronik" oder "Bauelemente-, Prozess- und Anlagensimulation" behandelt.

Empfohlene Literatur
  • Frey, L. und Ryssel, H.: Folien der Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und Prozessintegration und Bauelementearchitekturen (am Lehrstuhl erhältlich)

ECTS-Informationen:
Title:
Seminar on Selected Topics of Silicon Semiconductor Technology

Credits: 2,5

Prerequisites
none

Contents
The objective for the seminar is to elaborate and conclusively present one topic from the general area of silicon semiconductor technology. The supervisors provide a fundamental selection of literature, the participants are then encouraged to expand this by independent literature research. Each participant is to deliver a 45 minute report on his/her results. The individual topics are chosen from a different area each semester. In past semesters focus was set on "Contamination in Semiconductor Electronics" or "Electron Device, Process and Equipment Simulation", for instance.

Literature
  • Frey, L.: Technologie integrierter Schaltungen and Prozessintegration und Bauelementearchitekturen, lecture slides (available at Chair of Electron Devices)

Zusätzliche Informationen
Erwartete Teilnehmerzahl: 10
www: https://www.studon.fau.de/crs2668034.html

Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
Startsemester WS 2020/2021:
Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie (SemAKSH)

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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