Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Sensor technology Laboratory)
(Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktikum Sensor-Technologie)

Lehrveranstaltungen:

• • Praktikum Sensor-Technologie
    (Praktikum, 4 SWS, Anwesenheitspflicht, Florian Hubert, Mi, 8:00 - 12:00, SR 02.028; *Für diese Lehrveranstaltung ist eine Anmeldung erforderlich. Die Anmeldung erfolgt über StudOn gemäß dem Anmeldeverfahren des Dept. EEI. Nähere Informationen zum Anmeldeverfahren erfahren Sie über das SSC EEI.*)

Inhalt:

• Kraftsensor auf Basis des piezoresistiven Effekts

• Berechnung von Sensorparametern mit MATLAB

• Maskenlayout

• Maskentechnik/Photolithographie

• Nasschemisches Ätzen

• Schichtdickenbestimmung

• Topologiemessung

• Leitungstypbestimmung

• Diffusion/Oxidation/Dotierung

• Sensorcharakterisierung
  

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

• Erarbeiten sich im Zuge der Vorbereitung die nötigen Fachkenntnisse für den jeweiligen Versuch

• Erläutern die verwendeten Verfahren anhand von Vorbereitungsfragen

• Wenden ihr Wissen auf die Auslegung eines Sensors an

• Erarbeiten in der Gruppe geeignete Lösungsansätze für gestellte Messaufgaben und evaluieren diese anhand der gewonnenen Daten

• Hinterfragen und evaluieren die vorgestellten Mess- und Herstellungsverfahren

• Überprüfen und beurteilen die Funktionsfähigkeit des hergestellten piezoresistiven Sensors
  

Weitere Informationen:

Studien-/Prüfungsleistungen:

Laborpraktikum Sensor-Technologie (Prüfungsnummer: 77001)

(englischer Titel: Laboratory course: Sensor Technology)

Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet, 2.5 ECTS

weitere Erläuterungen:
häusliche Vorbereitung, Durchführung von Versuchen, Kolloquium

Erstablegung: WS 2020/2021, 1. Wdh.: SS 2021, 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Stefan J. Rupitsch