In Kürze...
Forschungsschwerpunkte
- Technologie und Simulation mikroelektronischer Bauelemente und Schaltkreise auf Silicium- und Siliciumkarbid (SiC)-Basis
Entwicklung von Prozessschritten
Entwicklung von Sensoren und Aktoren
Leistungselektronische und mechatronische Systeme
Halbleiterfertigungsgeräte und Materialien
Simulation von Geräten und Fertigungsschritten
Kontaminationsanalytik und Fehleranalyse
Ionen- und Elektronenstrahlfeinbearbeitung (FIB)
Weitere Informationen auch unter:
Forschungsrelevante apparative Ausstattung
- Halbleiterprozesstechnik (1000m2 Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0,8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik (Elymat, µ-PCD), Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)
Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)
Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)
Kooperationsbeziehungenvielfältige Kooperationen im In- und Ausland, u.a.:
Infineon Technologies (München, Villach)
Nanoworld Services (Erlangen)
ELMOS (Dortmund)
ZMD (Dresden)
Texas Instruments, Freising
Universitäten: Osaka (Japan), Trient (Italien), Bochum, München (UniBW), Zürich (ETH), IIT Kharagpur (Indien), North Carolina State University (USA)
Ungarische und Russische Akademien der Wissenschaften
Forschungsinstitute: Fraunhofer IISB (Erlangen), IMEC (Leuven, Belgien), CEA-LETI (Grenoble, Frankreich), Tyndall Research Institute (Cork, Irland)
VeröffentlichungsreihenJahresberichte des Lehrstuhls unter http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/lehrstuhl/jahresberichte/index.php
| Leitung Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
Sekretariat Annette Göhler Andrea Merkel
Wiss. Mitarbeiter Matthäus Albrecht, M. Sc. Abid Shaukat Ali, M. Sc. Sven Besendörfer, M. Sc. Dr.-Ing. Tobias Dirnecker, Akad. ORat David Domaschka, M. Sc. Dipl.-Ing. Jürgen Erlekampf Dipl.-Ing. Michael Förthner Yunchao Han, M. Sc. Dipl.-Ing. Thomas Heckel Dipl.-Ing. Andreas Hürner Andreas Hutzler, M. Sc. Alicja Kerschbaum, Dipl.-Mathematiker Univ. Dipl.-Phys. Florian Krach Xinxin Liu, M. Sc. Christian David Matthus, M. Sc. Zeynep Meric, M. Sc. Dipl.-Ing. Sebastian Polster Deepa Rai, M. Sc. Marina Scharin, M. Eng. Thomas Schriefer, M. Sc. Tobias Stolzke, M. Sc. Dipl.-Ing. Christian Sültrop Raghavendran Thiruvallur Eachambadi, M. Sc. Dipl.-Ing. Bernd Wunder Dongbo Xu, M. Sc.
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