In Kürze...
Forschungsschwerpunkte
- Technologie und Simulation mikroelektronischer Bauelemente und Schaltkreise auf Silicium- und Siliciumkarbid (SiC)-Basis
Entwicklung von Prozessschritten
Entwicklung von Sensoren und Aktoren
Leistungselektronische und mechatronische Systeme
Halbleiterfertigungsgeräte und Materialien
Simulation von Geräten und Fertigungsschritten
Kontaminationsanalytik und Fehleranalyse
Ionen- und Elektronenstrahlfeinbearbeitung (FIB)
Weitere Informationen auch unter:
Forschungsrelevante apparative Ausstattung
- Halbleiterprozesstechnik (1000m2 Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0,8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik (Elymat, µ-PCD), Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)
Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)
Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)
Kooperationsbeziehungenvielfältige Kooperationen im In- und Ausland, u.a.:
Infineon Technologies (München, Villach)
Nanoworld Services (Erlangen)
ELMOS (Dortmund)
ZMD (Dresden)
Texas Instruments, Freising
Universitäten: Osaka (Japan), Trient (Italien), Bochum, München (UniBW), Zürich (ETH), IIT Kharagpur (Indien), North Carolina State University (USA)
Ungarische und Russische Akademien der Wissenschaften
Forschungsinstitute: Fraunhofer IISB (Erlangen), IMEC (Leuven, Belgien), CEA-LETI (Grenoble, Frankreich), Tyndall Research Institute (Cork, Irland)
VeröffentlichungsreihenJahresberichte des Lehrstuhls unter http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/lehrstuhl/jahresberichte/index.php
| Leitung Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
Sekretariat Annette Göhler Andrea Merkel
Wiss. Mitarbeiter Matthäus Albrecht, M. Sc. Abid Shaukat Ali, M. Sc. Zelalem Tamrate Belete, M. Sc. Sven Besendörfer, M. Sc. Dr.-Ing. Tobias Dirnecker, Akad. ORat Martin Ellinger, M. Sc. Dipl.-Ing. Michael Förthner Yunchao Han, M. Sc. Dipl.-Ing. Thomas Heckel Andreas Hutzler, M. Sc. Diplom-Kristallograph Dietmar Jockel Alicja Kerschbaum, Dipl.-Mathematiker Univ. Martina Koch, M. Sc. Dipl.-Phys. Florian Krach Julius Marhenke, M. Sc. Christian David Matthus, M. Sc. Michael Niebauer, M. Sc. Dipl.-Ing. Maximilian Rumler Marina Scharin-Mehlmann, M. Eng. Thomas Schriefer, M. Sc. Tobias Stolzke, M. Sc. Julietta Weiße, M. Sc.
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