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Reinraum- und Halbleiterpraktikum (RR-Prak)5 ECTS (englische Bezeichnung: Clean Room and Semiconductor Laboratory)
Modulverantwortliche/r: Tobias Dirnecker Lehrende:
Tobias Dirnecker, Julius Marhenke, Tobias Stolzke, Michael Niebauer
Start semester: |
WS 2019/2020 | Duration: |
1 semester | Cycle: |
jährlich (WS) |
Präsenzzeit: |
90 Std. | Eigenstudium: |
60 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
Inhalt:
Im Rahmen des Praktikums erarbeiten sich die Studenten in kleinen Gruppen grundlegende Kenntnisse über die Herstellungsschritte von mikro- und nanoelektronischen Bauelementen. Darauf aufbauend werden im Reinraum des Lehrstuhls Technologieschritte zur Herstellung einfacher elektronische Bauelemente vorgestellt. Der Schwerpunkt der praktischen Versuche liegt dabei im Bereich der Herstellung dünner Schichten sowie der Strukturübertragung mittels Photolithographie. Dabei lernen die Studenten die Arbeitsbedingungen bei höchsten Reinheitsanforderungen kennen. Außerdem werden einfache Bauelemente elektrisch charakterisiert und die Messungen ausgewertet. Die Ergebnisse der elektrischen Messungen werden mit simulierten Kennlinien der Bauelemente verglichen.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
- Fachkompetenz
- Verstehen
- erklären die Anforderungen an die Arbeitsbedingungen im Reinraum für die Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauelementen
- Anwenden
- beschreiben die Zusammenhänge zwischen den Prozessbedingungen und den Eigenschaften elektronischer Bauelemente
- Lern- bzw. Methodenkompetenz
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Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan: Das Modul ist im Kontext der folgenden Studienfächer/Vertiefungsrichtungen verwendbar:
- Nanotechnologie (Bachelor of Science): 5. Semester
(Po-Vers. 2008 | TechFak | Nanotechnologie (Bachelor of Science) | weitere Module der Bachelorprüfung | Reinraum-Praktikum)
Studien-/Prüfungsleistungen:
Reinraumpraktikum (Prüfungsnummer: 44201)
- Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet
- weitere Erläuterungen:
- Vorbereitung auf jeden Versuch (7 Versuche)
Kontrolle der Vorbereitung auf die Versuche durch Diskussion der Versuchsinhalte während der Versuchsvorbesprechungen
Anfertigung von Versuchsprotokollen
Bestehen des Abschlusstesttats
- Erstablegung: WS 2019/2020, 1. Wdh.: WS 2020/2021, 2. Wdh.: keine Wiederholung
1. Prüfer: | Tobias Dirnecker |
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