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Technologie integrierter Schaltungen (TIS)5 ECTS (englische Bezeichnung: Technology of Integrated Circuits)
Modulverantwortliche/r: Jörg Schulze Lehrende:
Jörg Schulze, Jannik Schwarberg
Startsemester: |
WS 2021/2022 | Dauer: |
1 Semester | Turnus: |
jährlich (WS) |
Präsenzzeit: |
60 Std. | Eigenstudium: |
90 Std. | Sprache: |
Deutsch |
Lehrveranstaltungen:
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Technologie integrierter Schaltungen
(Vorlesung, 3 SWS, Jörg Schulze, Do, 14:15 - 16:45, Hans-Georg-Waeber-Saal)
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Übung zu Technologie integrierter Schaltungen
(Übung, 1 SWS, Jannik Schwarberg, Do, 17:00 - 17:45, Hans-Georg-Waeber-Saal)
Empfohlene Voraussetzungen:
Kenntnisse aus dem Bereich Halbleiterbauelemente (Pflichtveranstaltung im Bachelorstudiengang EEI und Mechatronik)
Inhalt:
In diesem Modul werden die wesentlichen Technologieschritte zur Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltungen behandelt.
Ausgehend von der Frage nach den relevanten Parametern chemischer und physikalischer Herstellungsprozesse werden zu Beginn die Verfahren und Methoden zur Herstellung von einkristallinen Siliziumkristallen besprochen. Anschließend werden die physikalischen und chemischen Grundlagen der Oxidation, der Dotierverfahren Diffusion und Ionenimplantation sowie der physikalischen und chemischen Gasphasenabscheidung von dünnen Schichten behandelt. Eine Einführung in die relevanten Lithographie- und Strukturierungsverfahren beendet den Kanon der wesentlichen Technologieschritte zur Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente. Ergänzend dazu werden Sequenzen von Prozessabläufen, wie sie heute bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltungen wie Mikroprozessoren oder Speichern verwendet werden, besprochen.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
- Anwenden
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- Evaluieren (Beurteilen)
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Literatur:
- S. M. Sze: VLSI - Technology, MacGraw-Hill, 1988
C. Y. Chang, S. M. Sze: ULSI - Technology, MacGraw-Hill, 1996
D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich: Technology of Integrated Circuits, Springer Verlag, 2000
Hong Xiao: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall, 2001
Studien-/Prüfungsleistungen:
Technologie integrierter Schaltungen (Prüfungsnummer: 61901)
(englischer Titel: Technology of Integrated Circuits)
- Prüfungsleistung, Klausur, Dauer (in Minuten): 90, benotet, 5.0 ECTS
- Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %
- Erstablegung: WS 2021/2022, 1. Wdh.: SS 2022, 2. Wdh.: keine Wiederholung
- Termin: 07.04.2022, 08:00 Uhr, Ort: K 1 TechF
Termin: 04.08.2022
Termin: 04.08.2022Termin: 07.04.2022, 08:00 Uhr, Ort: K 1 TechF
Termin: 04.08.2022
Termin: 04.08.2022
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