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Technologie integrierter Schaltungen (TIS)5 ECTS (englische Bezeichnung: Technology of Integrated Circuits)
Modulverantwortliche/r: Tobias Erlbacher Lehrende:
Tobias Erlbacher, Michael Niebauer
Studienfächer/Prüfungsordnungsmodule:
Einfrieren der UnivIS-Modul-Beschreibung: 5.5.2020
Entwurf Integrierter Schaltungen II/Technologie integrierter Schaltungen (23517)
Technologie integrierter Schaltungen (32578)
Startsemester: |
WS 2020/2021 | Dauer: |
1 Semester | Turnus: |
jährlich (WS) |
Präsenzzeit: |
60 Std. | Eigenstudium: |
90 Std. | Sprache: |
Deutsch |
Lehrveranstaltungen:
Empfohlene Voraussetzungen:
Kenntnisse aus dem Bereich Halbleiterbauelemente (Pflichtveranstaltung im Bachelorstudiengang EEI und Mechatronik)
Inhalt:
In diesem Modul werden die wesentlichen Technologieschritte zur Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltungen behandelt.
Ausgehend von den Verfahren und Methoden zur Herstellung von einkristallinen Siliciumkristallen werden Anschließend die
physikalischen Grundlagen der Oxidation, der Dotierungsverfahren Diffusion und Ionenimplantation sowie der
chemischen Gasphasenabscheidung von dünnen Schichten behandelt. Ergänzend dazu werden Sequenzen von Prozessabläufen, wie sie heute bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltungen wie Mikroprozessoren oder Speicher verwendet werden, bespreochen und anhand von Bauelementen (Kondensator, Diode und Transistor) wichtige Prozessparameter und Bauelementeeigenschaften erläutert.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
- Anwenden
-
- Evaluieren (Beurteilen)
-
Literatur:
- S. M. Sze: VLSI - Technology, MacGraw-Hill, 1988
C. Y. Chang, S. M. Sze: ULSI - Technology, MacGraw-Hill, 1996
D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich: Technology of Integrated Circuits, Springer Verlag, 2000
Hong Xiao: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall, 2001
Studien-/Prüfungsleistungen:
Technologie integrierter Schaltungen (Prüfungsnummer: 61901)
(englischer Titel: Technology of Integrated Circuits)
zugeh. "mein campus"-Prüfung: | - 61901 Technologie integrierter Schaltungen (Prüfung, Form: Klausur, Drittelnoten (mit 4,3), Dauer: 90, 5 ECTS, Prüfung).
- 61901 Technologie integrierter Schaltungen (Prüfung, Form: Klausur, Drittelnoten (mit 4,3), Dauer: 90, 5 ECTS, Prüfung).
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- Prüfungsleistung, Klausur, Dauer (in Minuten): 90, benotet, 5.0 ECTS
- Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %
- Erstablegung: WS 2020/2021, 1. Wdh.: SS 2021, 2. Wdh.: keine Wiederholung
1. Prüfer: | Tobias Erlbacher (060257) |
- Termin: 25.03.2021, 14:00 Uhr, Ort: H 7 TechF
Termin: 22.07.2021, 14:00 Uhr, Ort: H 10 TechFTermin: 25.03.2021, 14:00 Uhr, Ort: H 7 TechF
Termin: 22.07.2021, 14:00 Uhr, Ort: H 10 TechF
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