| Entwicklung eines Interferometers, das unter simultaner Verwendung von drei Wellenlängen in der Lage ist, diffraktive optische Elemente mit den Mitteln der phase shifting Interferometrie zu vermessen Tiefe Reliefstrukturen wie sie bei diffraktiven optischen Elementen auftreten, lassen sich nicht so ohne weiteres mit den Mitteln der phase shifting Interferometrie vermessen, da an nicht aufgelösten Sprungstellen in der Oberfläche im Fall
monochromatischer Beleuchtung die Ordnungszahl der Interferenzstreifen verloren
geht. Im vorliegenden Projekt wird daher eine 3-Wellenlängenmethode verfolgt, bei der simultan mit einer 3-Chip-Kamera die Interferenzmuster bei 3 Wellenlängen
aufgenommen und ausgewertet werden. Das Auswerteverfahren beruht auf der Methode der überschießenden Bruchteile, das aus der Längenmesstechnik bekannt ist. Wesentlich dabei ist, dass die 3 Wellenlängen teilerfremd sind und durch den Strahlteiler der Kamera hinreichend separiert werden können. Das ist mit den Wellenlängen 633, 532, 473 nm erfolgreich erprobt worden und wird in Zukunft auch für den
Ausbau zu einem Linnik-Interferenzmikroskop herangezogen werden. | Projektleitung:
apl. Prof. Dr. Johannes Schwider
Beteiligte:
Dr. Andreas Pförtner
Laufzeit: 1.1.2001 - 31.12.2002
Förderer:
DFG
|