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Praktikum Technologie der Silizium-Halbleiterbauelemente (PrTESI)2.5 ECTS (englische Bezeichnung: Laboratory on Silicon Semiconductor Processing)
Modulverantwortliche/r: Tobias Dirnecker Lehrende:
Tobias Dirnecker, Assistenten
Startsemester: |
WS 2021/2022 | Dauer: |
1 Semester | Turnus: |
halbjährlich (WS+SS) |
Präsenzzeit: |
45 Std. | Eigenstudium: |
30 Std. | Sprache: |
Deutsch |
Lehrveranstaltungen:
Empfohlene Voraussetzungen:
Inhalt:
Das Praktikum zur Technologie der Silizium-Halbleiterbauelemente vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation, Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Messverfahren zur Prozesskontrolle wie Schichtdickenmessverfahren, Schichtwiderstandsmessverfahren vorgestellt und zum Schluss die hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
- Fachkompetenz
- Verstehen
- verstehen die Funktionsweise von Solarzellen
- Anwenden
- können typische Prozessgeräte und Methoden der Prozesskontrolle in einer Halbleiterfertigung erklären
- Analysieren
- sind in der Lage, verschiedene Technologieschritte hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile zu analysieren
- Lern- bzw. Methodenkompetenz
- sammeln praktische Erfahrung im Umgang mit Halbleiterscheiben unter den besonderen Arbeitsbedingungen eines Reinraumes
Literatur:
Vorbereitende Literatur auf die Versuche:
(siehe: www.studon.fau.de im Bereich "Angebote/5. Tech/ 5.2 EEI/Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente/Praktika/Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente)
Empfohlene begleitende Literatur:
Skripten zu den Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und Prozessintegration und Bauelementearchitekturen (am Lehrstuhl erhältlich)
Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994
Organisatorisches:
Teilnahme an den Vorbesprechungen und Versuchen erforderlich Die Anwesenheit an den Versuchen ist verpflichtend, da der Kompetenzerwerb im Umgang mit Messgeräten und Software nur durch die Präsenz im Labor oder am entsprechenden Rechnerarbeitsplatz mit Spezialsoftware erlangt werden kann.
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Technologie der Silizium-Halbleiterbauelemente (Prüfungsnummer: 77301)
- Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet
- weitere Erläuterungen:
- Bestehen der Versuchsvortestate (Diskussion der Versuchsinhalte, ca. 45 Min, SL)
Anfertigung von Versuchsprotokollen (Zusammenfassung der wesentlichen Ergebnisse der Vorbesprechung und Versuchsdurchführung, Umfang ca. 6-8 Seiten, PL)
Bestehen des Abschlusstestats (Zusammenfassende Diskussion der Versuchsergebnisse, ca. 90 min, SL)
- Erstablegung: WS 2021/2022, 1. Wdh.: SS 2022
1. Prüfer: | Tobias Dirnecker |
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