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Mechatronik
	Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie SEM; 2 SWS; ben. Schein; ECTS: 2,5; Di, 14:00 - 16:00, 0.111; Mi, 10:15 - 11:45, 0.111; Vorbesprechung: 19.10.2009, 14:50 - 15:00 Uhr, Hans-Georg-Waeber-Saal				WPF EEI-DH-MIK 5-13 WPF EEI-BA 5-9 WPF ME-DH-SEM 5-13	Grandrath, Ch. Frey, L.
	Numerische Simulation grundlegender Vorgänge in Halbleiterbauelementen SEM; 2 SWS; ben. Schein; ECTS: 2,5; nach Vereinbarung; Vorbesprechung: 22.10.2009, 11:45 - 12:00 Uhr, 0.111				WPF EEI-DH-MIK 7-13	Stoisiek, M.
	Praktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik PR; 3 SWS; Schein; ECTS: 4; Voraussetzung: Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und/oder Halbleiter- und Bauelementemesstechnik; Praktikum kann nach Vereinbarung auch als Ferienkurs stattfinden.; Vorbesprechung: 19.10.2009, 14:45 - 14:50 Uhr, Hans-Georg-Waeber-Saal				WPF EEI-DH-MIK ab 5 WPF ME-DH-PEEI ab 5	Grandrath, Ch. Assistenten
	Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente PR; 3 SWS; Schein; ECTS: 4; Vorlesung Technologie integrierter Schaltungen vorausgesetzt; Mi, 13:00 - 17:30, BR 1.161; Di, 8:30 - 12:30, BR 1.161; Praktikum wird am Mittwoch Nachmittag angeboten, ggf. ist eine 2. Gruppe (Termin nach Absprache) möglich. Wichtig: Teilnahme an Vorbesprechung am 19.10.2009 um 15:00 Uhr im Hans-Georg-Waeber-Saal! ANMELDUNG per Email an Tobias.Dirnecker@leb.eei.uni-erlangen.de; Vorbesprechung: 19.10.2009, 15:00 - 16:00 Uhr, Hans-Georg-Waeber-Saal				WPF CE-BA-TA-ME ab 5 WPF CE-BA-TW ab 5 WPF EEI-DH-AET ab 5 WPF EEI-DH-MIK ab 5 WPF EEI-BA ab 5 WPF ME-DH-PEEI ab 5	Dirnecker, T. u.a.
	Produktion in der Elektrotechnik 1 (PRIDE) VORL; 2 SWS; ECTS: 2,5; Teil 1 (Wintersemester) und Teil 2 (Sommersemester) der Vorlesung werden gemeinsam geprüft; Di, 16:00 - 17:30, Hans-Georg-Waeber-Saal				PF ME-DH 5 WPF ME-BA-MG8 ab 5	Frey, L. Schmidt, M.
	Technik der Halbleiterfertigungsgeräte VORL; 2 SWS; ben. Schein; ECTS: 2,5; Mi, 15:15 - 17:45, Hans-Georg-Waeber-Saal, (außer Mi 28.10.2009, Mi 18.11.2009, Mi 2.12.2009, Mi 9.12.2009); Einzeltermine am 5.2.2010, 6.2.2010, 9:00 - 16:00, Raum n.V.; 16.12.09: Reinraumbesichtigung; 27.02.10: Reserve; 03.02.10: Reserve; 05.02.&06.02.: voraus. Blocktermine				WF EEI-DH-MIK 5-13 WF MB-DH 7-13 WPF ME-DH-VF8 7-9 WPF ME-BA-MG8 ab 5 WF WW-DH-EL 7-13	Pfitzner, L. Schmutz, W.
	Technologie integrierter Schaltungen VORL; 3 SWS; ECTS: 5; benoteter Schein möglich; Mo, 12:30 - 14:45, Hans-Georg-Waeber-Saal				WPF CE-BA-TA-ME 3-5 WPF CE-BA-TW 3-5 PF EEI-DH-MIK 5 WPF EEI-DH-AET 5-13 WPF EEI-DH-LE 5-13 WPF EEI-BA ab 5 PF INF-NF-EEI 5 WPF ME-DH-VF13 7-9 WF ME-DH-VF11 5-13 WF ME-DH-VF8 5-13 WPF ME-BA-MG12 ab 5	Frey, L.
	Übung zu Technologie integrierter Schaltungen UE; 1 SWS; jede 2. Woche Mo, 15:00 - 16:30, Hans-Georg-Waeber-Saal; ab 2.11.2009				WPF CE-BA-TA-ME 3-5 WPF CE-BA-TW 3-5 PF EEI-DH-MIK 5 WPF EEI-DH-AET 5-13 WPF EEI-DH-LE 5-13 WPF EEI-BA ab 5 PF INF-NF-EEI 5 WPF ME-DH-VF13 7-9 WPF ME-BA-MG12 ab 5	Kaiser, J.
	Virtuelle Übung zu Produktion in der Elektrotechnik UE; 1 SWS; Anmeldung über die Internetseite des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente; zur Verbesserung der Prüfungsvorbereitung LEB-Teil					Pöhlmann, S.
	Zuverlässigkeit und Fehleranalyse integrierter Schaltungen VORL; 2 SWS; ben. Schein; ECTS: 4; Fr, 10:15 - 11:45, Hans-Georg-Waeber-Saal; endgültiger Termin am Freitag nach Absprache				WPF EEI-DH-MIK 5-13 WPF EEI-BA ab 5 WPF ME-DH-VF11 5-7 WPF ME-BA-MG11 ab 5	Pichler, P.
	Übung zu Zuverlässigkeit und Fehleranalyse integrierter Schaltungen UE; 1 SWS; ben. Schein; Fr, 11:45 - 12:30, Hans-Georg-Waeber-Saal; endgültiger Termin am Freitag nach Absprache				WPF EEI-DH-MIK 5-13 PF ME-DH-VF11 5-7 WPF ME-BA-MG11 ab 5	Pichler, P.

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