Halbleitertechnik V - Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HL V - HBMT)5 ECTS
(englische Bezeichnung: Semiconductor and Device Measurement Techniques)
(Prüfungsordnungsmodul: Halbleitertechnik V - Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HL V))

Lectures:

• • Halbleitertechnik V - Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
    (Vorlesung, 3 SWS, Sven Berberich, Mon, 14:15 - 17:45, 0.111)
  • Übung zu Halbleitertechnik V - Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
    (Übung, 1 SWS, Sven Berberich, Zeit und Raum n.V.)

Empfohlene Voraussetzungen:

• Basiswissen zur Physik (Abitur) notwendig

• Grundkenntnisse zu Halbleiterbauelementen (z.B. Präsenzvorlesung „Halbleiterbauelemente“ oder vhb-Vorlesung „Halbleiterbauelemente“)
  

Inhalt:

Im Modul Halbleiter- und Bauelementemesstechnik werden die wichtigsten Messverfahren, die zur Charakterisierung von Halbleitern und von Halbleiterbauelementen benötigt werden, behandelt. Zunächst wird die Messtechnik zur Charakterisierung von Widerständen, Dioden, Bipolartransistoren, MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren behandelt. Dabei werden die physikalischen Grundlagen der jeweiligen Bauelemente kurz wiederholt. Im Bereich Halbleitermesstechnik bildet die Messung von Dotierungs- und Fremdatomkonzentrationen sowie die Messung geometrischer Dimensionen (Schichtdicken, Linienbreiten) den Schwerpunkt.

Lernziele und Kompetenzen:

Anwenden

erklären physikalische und elektrische Halbleiter- und Bauelementemess- und Analysemethoden
vergleichen die Vor- und Nachteile sowie die Grenzen der verschiedenen Verfahren

Analysieren

analysieren, welches Verfahren für welche Fragestellung geeignete ist

Evaluieren (Beurteilen)

bewerten die mit den unterschiedlichen Verfahren erzielten Messergebnisse

Literatur:

• Vorlesungsskript

• Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Devices Characterization, Wiley-IEEE, 2006

• W.R. Runyan, T.J. Shaffner: Semiconductor Measurements and Instrumentations, McGraw-Hill, 1998

• A.C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, CRC, 2001
  

Weitere Informationen:

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

1. Berufspädagogik Technik (Master of Education)
   (Po-Vers. 2020w | TechFak | Berufspädagogik Technik (Master of Education) | Gesamtkonto | Wahlpflichtmodule Fachwissenschaft | Halbleitertechnik V - Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HL V))

Studien-/Prüfungsleistungen:

Halbleitertechnik V - Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HL V) (Prüfungsnummer: 25251)

Prüfungsleistung, schriftlich oder mündlich, benotet, 5 ECTS

Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %

Erstablegung: SS 2022, 1. Wdh.: WS 2022/2023

1. Prüfer:

Jörg Schulze