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Praktikum Halbleitertechnologie (PrTech)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Laboratory on Semiconductor Processing)
(Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
Modulverantwortliche/r: Tobias Dirnecker
Lehrende:
Tobias Dirnecker, u.a.
| Start semester: |
SS 2022 | Duration: |
1 semester | Cycle: |
jährlich (SS) |
| Präsenzzeit: |
45 Std. | Eigenstudium: |
30 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
Empfohlene Voraussetzungen:
Inhalt:
Das Praktikum Halbleitertechnologie vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation, Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Messverfahren zur Prozesskontrolle wie Schichtdickenmessverfahren, Schichtwiderstandsmessverfahren vorgestellt und zum Schluss die hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).
Lernziele und Kompetenzen:
- Fachkompetenz
- Verstehen
- verstehen die Funktionsweise von Solarzellen
- Anwenden
- können typische Prozessgeräte und Methoden der Prozesskontrolle in einer Halbleiterfertigung erklären
- Analysieren
- sind in der Lage, verschiedene Technologieschritte hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile zu analysieren
- Lern- bzw. Methodenkompetenz
- sammeln praktische Erfahrung im Umgang mit Halbleiterscheiben unter den besonderen Arbeitsbedingungen eines Reinraumes
Literatur:
- Praktikumsskripte
Unterlagen zu den Modulen HLT I - Technologie integrierter Schaltungen und HL I - Bipolartechnik (am Lehrstuhl erhältlich) Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
(Po-Vers. 2015s | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) | Gesamtkonto | Studienrichtung Leistungselektronik | Hauptseminar und Laborpraktikum Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
(Po-Vers. 2015s | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) | Gesamtkonto | Studienrichtung Mikroelektronik | Hauptseminar und Laborpraktikum Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Berufspädagogik Technik (Master of Education)", "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)", "Mechatronik (Master of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Halbleitertechnologie (Prüfungsnummer: 25181)- Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet, 2.5 ECTS
- weitere Erläuterungen:
Bestehen der Versuchsvortestate (Diskussion der Versuchsinhalte, ca. 45 Min, SL)
Anfertigung von Versuchsprotokollen (Zusammenfassung der wesentlichen Ergebnisse der Vorbesprechung und Versuchsdurchführung, Umfang ca. 10 Seiten, PL)
Bestehen des Abschlusstestats (Zusammenfassende Diskussion der Versuchsergebnisse, ca. 90 min, SL)
- Erstablegung: SS 2022, 1. Wdh.: WS 2022/2023
| 1. Prüfer: | Tobias Dirnecker |
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