Anleitung zum wissenschaftlichen Arbeiten [AWA - Schulze]

Dozent/in:

Jörg Schulze

Angaben:

Seminar, nur Fachstudium

Termine:

Zeit und Ort nach Vereinbarung

Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie

Dozent/in:

Julian Schwarz

Angaben:

Seminar, 2 SWS, benoteter Schein, ECTS: 2,5, nur Fachstudium, Anmeldung über StudOn; Kenntnisse aus "Technologie integrierter Schaltungen" und/oder "Prozessintegration" werden vorausgesetzt.

Termine:

Di, 14:15 - 15:45, 0.111
Die Teilnahme an der Vorbesprechung ist obligatorisch.

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF ME-MA-SEM-EEI 3
WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF ME-BA-SEM 3-6

Inhalt:

Ziel des Seminars ist die selbstständige Erarbeitung und schlüssige Darstellung eines Themas aus dem Gebiet der Silicium-Halbleitertechnologie. Als Grundlage dienen dabei Literaturvorgaben der Betreuer, die durch eigene Recherchen ergänzt werden sollen. Die Teilnehmer referieren im Rahmen eines 30-minütigen Vortrags über ihre Ergebnisse. Die Einzelthemen werden in jedem Semester aus einem anderen Schwerpunkt gewählt. In den letzten Semestern wurden beispielsweise Schwerpunktthemen wie "Bauelementetechnologien", "Mikrosystemtechnik", "Kontamination in der Halbleiterelektronik" oder "Bauelemente-, Prozess- und Anlagensimulation" behandelt.

Empfohlene Literatur:

• Frey, L. und Ryssel, H.: Folien der Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und Prozessintegration und Bauelementearchitekturen (am Lehrstuhl erhältlich)

Flexible Elektronik [GedrElektr]

Dozent/in:

Michael Jank

Angaben:

Vorlesung, 2 SWS, Schein, ECTS: 2,5, nur Fachstudium, Details zu Inhalten und Durchführung der Vorlesung werden in der Vorbesprechung/Einführung am 20. Oktober besprochen. Bitte wenden Sie sich vorab per E-Mail an den Dozenten (michael.jank@fau.de), falls Sie an dem Termin nicht teilnehmen können.

Termine:

Mi, 14:15 - 15:45, 0.111
Details zu Inhalten und Durchführung der Vorlesung werden in der Vorbesprechung/Einführung am 20. Oktober besprochen. Bitte wenden Sie sich vorab per E-Mail an den Dozenten (michael.jank@fau.de), falls Sie an dem Termin nicht teilnehmen können.

Studienrichtungen / Studienfächer:

WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1

Inhalt:

1.Einführung -Vergleich Elektroniktechnologien, Anwendungen für großflächige und flexible Elektronik

• Integrationstechniken

2. Bauelementekonzepte der Dünnschichtelektronik

• Dünnschichttransistoren / TFTs

• Passive Bauelemente

• Ausgewählte Sensoren

3. Materialien und Prozessierung

• Beschichtungs- und Drucktechniken

• Dünnschichttechnologien (a-Silicium, Polysilicium, Metalloxide, Organik)

• Substrat-, Prozess- und Bauelementeoptionen für flexible Anwendungen

4. Mechanische und elektronische Integration

• Verbindungstechniken

• Drahtlose Schnittstellen

5. Anwendungen

• Großflächige Sensoren, Sensormatrizen und Ausleseelektronik

• Typen, Aufbau und Ansteuerung von Displays
  

Schlagwörter:

flexibel flexible Elektronik großflächig large area Displays Sensorik Integration Verbindungstechnik

Forschungspraktikum am LEB

Dozent/in:

Tobias Dirnecker

Angaben:

Sonstige Lehrveranstaltung, Schein, ECTS: 10, Nur für EEI Master;

Termine:

Nach Vereinbarung; Nur für EEI Master; Weitere Informationen über StudOn unter: <Link wird noch eingefügt>

Halbleiterbauelemente

Dozent/in:

Jörg Schulze

Angaben:

Vorlesung, 2 SWS, ECTS: 5, !Bitte beachten!: In beiden ersten Vorlesungswochen finden zusätzliche Vorlesungstermine zum regulären Termin der Übung (Mo., 18.10. & 25.10.) statt. lbleiterbauelemente statt! Die Übungseinheiten werden am Ende des Semesters nachgeholt.

Termine:

Di, 12:15 - 13:45, H6
Einzeltermine am 18.10.2021, 25.10.2021, 8.11.2021, 17.1.2022, 14:15 - 15:45, H5

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF MT-MA-MEL ab 1
PF EEI-BA 3
PF BPT-BA-E 3
PF BPT-MA-M-E ab 1
WPF MT-BA-BV ab 5

Voraussetzungen / Organisatorisches:

Zur Vorlesung wird eine Übung (2 SWS) sowie ein Tutorium angeboten. Informationen zu diesen Veranstaltungen finden Sie im Informationssystem UnivIS.

Inhalt:

Die Vorlesung Halbleiterbauelemente vermittelt den Studenten der Elektrotechnik die physikalischen Grundlagen moderner Halbleiterbauelemente. Der erste Teil der Vorlesung befasst sich nach einer Einleitung mit Bewegungsgleichungen von Ladungsträgern im Vakuum sowie der Ladungsträgeremission im Vakuum und daraus abgeleiteten Bauelementen. In der anschließenden Behandlung von Ladungsträgern im Halbleiter werden die wesentlichen Aspekte der Festkörperphysik zusammengefasst, die zum Verständnis moderner Halbleiterbauelemente nötig sind. Darauf aufbauend werden im Hauptteil der Vorlesung die wichtigsten Halbleiterbauelemente, d.h. Dioden, Bipolartransistoren und Feldeffekttransistoren detailliert dargestellt. Einführungen in die wesentlichen Grundlagen von Leistungsbauelementen und optoelektronischen Bauelementen runden die Vorlesung ab.

Empfohlene Literatur:

• Vorlesungsskript, am LEB erhältlich

• Neamen, D.A.: Semiconductor Physics and Devices: Basic Principles, 2nd ed., McGraw-Hill (Richard D. Irwin, Inc., Burr Ridge), USA, 1997

• Müller, R.: Grundlagen der Halbleiter-Elektronik: Band 1 der Reihe Halbleiter-Elektronik, 7. Auflage, Springer Verlag, Berlin, 1995

Schlagwörter:

Bauelemente, Halbleiter

Tutorium Halbleiterbauelemente

Dozent/in:

Jan Dick

Angaben:

Tutorium, 2 SWS, nur Fachstudium

Termine:

Mi, 12:15 - 13:45, Raum n.V.
Erster Termin: wird noch bekanntgegeben

Studienrichtungen / Studienfächer:

PF EEI-BA 3
PF BPT-BA-E 3
WPF MT-BA-BV 5-6

Inhalt:

Im Tutorium Halbleiterbauelemente bearbeiten die Teilnehmer in Kleingruppen ehemalige Klausuraufgaben. Die Betreuer stehen ihnen dabei zur Diskussion und Hilfestellung zur Verfügung.

Übungen zu Halbleiterbauelemente

Dozent/in:

Jan Dick

Angaben:

Übung, 2 SWS, nur Fachstudium, !Bitte beachten!: Die Präsenzübung am 25.01. entfällt. Eine Online-Übungseinheit wird in StudOn zur Verfügung gestellt.

Termine:

Mo, 14:15 - 15:45, H5
Einzeltermine am 9.11.2021, 18.1.2022, 8.2.2022, 12:15 - 13:45, H6

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF MT-MA-MEL ab 1
PF EEI-BA 3
PF BPT-BA-E 3
PF BPT-MA-M-E ab 1
WPF MT-BA ab 5

Integrierte Schaltungen, Leistungsbauelemente und deren Anwendungen [SEM_POWERDEVICES]

Dozent/in:

Tobias Dirnecker

Angaben:

Seminar, 2 SWS, benoteter Schein, ECTS: 2,5, Das Seminar wird in diesem Semester nicht regulär angeboten. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Tobias Dirnecker (tobias.dirnecker@fau.de)

Termine:

Zeit/Ort n.V.

Leistungshalbleiterbauelemente

Dozent/in:

Tobias Erlbacher

Angaben:

Vorlesung, 2 SWS, benoteter Schein, ECTS: 5

Termine:

Mi, 8:15 - 9:45, 0.111

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF WING-MA-ET-EN 1-3
WPF ME-BA-MG3 3-6
PF EEI-BA-LE 5-6
WPF EEI-BA-EuA 5-6
PF EEI-MA-LE 1-4
WPF EEI-MA-EuA 1-4
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
WPF ME-MA-MG3 1-3
WPF BPT-MA-E 1-3

Empfohlene Literatur:

• Fundamentals of Power Semiconductor Devices, B. J. Baliga, Springer, New York, 2008 ISBN: 978-0-387-47313-0

• Halbleiter-Leistungsbauelemente, Josef Lutz, Springer, Berlin, 2006 ISBN: 978-3-540-34206-9

• Leistungselektronische Bauelemente für elektrische Antriebe, Dierk Schröder, Berlin, Springer, 2006 ISBN: 978-3-540-28728-5

• Physics and Technology of Semiconductor Devices, A. S. Grove, Wiley, 1967, ISBN: 978-0-471-32998-5

• Power Microelectronics - Device and Process Technologies, Y.C. Liang und G.S. Samudra, World Scientific, Singapore, 2009 ISBN: 981-279-100-0

• Power Semiconductors, S. Linder, EFPL Press, 2006, ISBN: 978-0-824-72569-3

• V. Benda, J. Gowar, D. A. Grant, Power Semiconductor Devices, Wiley, 1999

Schlagwörter:

Leistungsbauelemente Halbleiter

Übung zu Leistungshalbleiterbauelemente

Dozent/in:

Julian Schwarz

Angaben:

Übung, 2 SWS, Anmeldung über StudOn: https://www.studon.fau.de/crs3991848.html

Termine:

Fr, 12:15 - 13:45, 0.111

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF ME-BA-MG3 3-6
PF EEI-BA-LE 5-6
WPF EEI-BA-EuA 5-6
WPF EEI-MA-EuA 1-4
PF EEI-MA-LE 1-4
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
WPF ME-MA-MG3 1-3
WPF BPT-MA-E 1-3
WPF WING-MA-ET-EN 1-3

Optical Lithography: Technology, Physical Effects, and Modelling

Dozent/in:

Andreas Erdmann

Angaben:

Vorlesung, 2 SWS, Die Vorlesung findet voraussichtlich über Zoom statt. Weitere Hinweise finden Sie im StudOn-Kurs zur Vorlesung.

Termine:

Do, 12:15 - 13:45, Hans-Georg-Waeber-Saal

Studienrichtungen / Studienfächer:

WF EEI-MA ab 1
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
WF AOT-GL ab 1
PF NT-MA 1

Inhalt:

Semiconductor lithography covers the process of pattern transfer from a mask/layout to a photosensitive layer on the surface of a wafer. It is one of the most critical steps in the fabrication of microelectronic circuits. The majority of semiconductor chips are fabricated by optical projection lithography. Other lithographic techniques are used to fabricate lithographic masks or new optical and mechanical devices on the micro- or nanometer scale. Innovations such as the introduction of optical proximity correction OPC), phase shift masks (PSM), special illumination techniques, chemical amplified resist (CAR) materials, immersion techniques have pushed the smallest feature sizes, which are produced by optical projection techniques, from several wavelengths in the early 80ties to less than a quarter of a wavelength nowadays. This course reviews different types of optical lithographies and compares them to other methods. The advantages, disadvantages, and limitations of lithographic methods are discussed from different perspectives. Important components of lithographic systems, such as masks, projection systems, and photoresist will be described in detail. Physical and chemical effects such as the light diffraction from small features on advanced photomasks, image formation in high numerical aperture systems, and coupled kinetic/diffusion processes in modern chemical amplified resists will be analysed. The course includes an in-depth introduction to lithography simulation which is used to devise and optimize modern lithographic processes.

Übung zu Optical Lithography

Dozent/in:

Andreas Erdmann

Angaben:

Übung, 2 SWS, Für Master AOT verpflichtende Zusatzveranstaltung, für andere Studiengänge freiwillig

Termine:

Fr, 16:15 - 17:45, Raum n.V.

Studienrichtungen / Studienfächer:

WF AOT-GL ab 1
PF NT-MA 1
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1

Praktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik

Dozentinnen/Dozenten:

Tobias Dirnecker, u.a.

Angaben:

Praktikum, 3 SWS, Schein, ECTS: 2,5, nur Fachstudium, Voraussetzung: Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und/oder Halbleiter- und Bauelementemesstechnik

Termine:

Das Praktikum wird voraussichtlich als Blockpraktikum in der vorlesungsfreien Zeit stattfinden. Ein Termin zur Vorbesprechung wird zu Beginn des Semesters bekannt gegeben.
Vorbesprechung: Freitag, 22.10.2021, 14:00 - 14:30 Uhr, 0.111

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF ME-MA-P-EEI 1-4

Inhalt:

Im Praktikum zur Halbleiter- und Bauelementemesstechnik wird ein Teil der in der gleichnamigen Vorlesung besprochenen Messverfahren praktisch durchgeführt. Zu Beginn des Praktikums wird die Relevanz der Messtechnik zur Prozesskontrolle aber auch in der Bauelementeentwicklung anhand eines typischen CMOS-Prozesses erläutert. Im Bereich Halbleitermesstechnik werden dann Versuche zur Scheibeneingangskontrolle, zu optischen Schichtdicken- und Strukturbreitenmessverfahren, sowie zur Profilmesstechnik durchgeführt. Im Bereich Bauelementemesstechnik werden MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren, Dioden, Widerstände und spezielle Teststrukturen elektrisch charakterisiert.

Empfohlene Literatur:

• Frey, L., Halbleiter- und Bauelementemesstechnik, Skript zur gleichnamigen Vorlesung (am Lehrstuhl erhältlich).

Praktikum Mikroelektronik [PrakMikro]

Dozentinnen/Dozenten:

Julian Schwarz, Tobias Dirnecker

Angaben:

Praktikum, 3 SWS, Schein, ECTS: 2,5, nur Fachstudium, Nur EEI-BA Mikroelektronik; Der Vorbesprechungstermin ist eine Pflichtveranstaltung und muss wahrgenommen werden.

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF EEI-BA-MIK 5-6

Voraussetzungen / Organisatorisches:

Nur für Studenten im Bachelorstudium EEI mit Studienrichtung Mikroelektronik belegbar.

Inhalt:

Ziel ist es, praktische Erfahrungen in den Bereichen Herstellungsverfahren und elektrische Charakterisierung, Simulation und Entwurf sowie der Anwendung von mikroelektronischen Bauelementen, Schaltungen und Systemen zu erlangen.

Es muss eine Auswahl von 7 Versuchen getroffen werden. Hinweis: es muss von jedem der vier beteiligten Lehrstühle mindestens ein Versuch ausgewählt werden.
Die folgenden Versuche werden i.d.R. angeboten:

LEB 1 - Charakterisierung von MOSFETs
LEB 2 - Charakterisierung von pn-Dioden
LEB 3 - Charakterisierung von MOS-Kondensatoren
LEB 4 - Haynes-Shockley-Experiment
LTE 1 - Analog circuit design (schematic)
LTE 2 - Analog circuit design (layout)
LTE 3 - Simulation von HF-Strukturen on-Chip mit Sonnet
LTE 4 - Diskreter Delta-Sigma ADU
LZS 1 - Entwurf und Simulation eines FlipFlops (Pflichtversuch LZS)
LZS 2 - Full-Custom-Layout einer Flipflop-Standardzelle
LIKE 1 - Digital-Entwurf mit VHDL (Pflichtversuch LIKE)
LIKE 2 - Simulation mit VHDL und Testfreundlicher Digital-Entwurf

Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente [Prak TeSi]

Dozent/in:

Tobias Dirnecker

Angaben:

Praktikum, 3 SWS, Schein, ECTS: 2,5, nur Fachstudium, Hinweis: Das Praktikum wird im Wintersemester nicht angeboten

Termine:

Zeit/Ort n.V.

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF ME-MA-P-EEI 1-4
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-BA-LE 5-6
WPF EEI-MA-LE 1-4
WPF ME-MA ab 1

Inhalt:

Das Praktikum zur Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation, Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Messverfahren zur Prozesskontrolle wie Schichtdickenmessverfahren, Schichtwiderstandsmessverfahren vorgestellt und zum Schluss die hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).

Empfohlene Literatur:

• Frey, L.: Skripten zu den Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und Prozessintegration und Bauelementearchitekturen (am Lehrstuhl erhältlich)

• Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994

Quantentechnologien 1 [QTech1-V]

Dozent/in:

Roland Nagy

Angaben:

Vorlesung, 2 SWS

Termine:

Do, 8:15 - 9:45, Hans-Georg-Waeber-Saal
Vorlesung findet über Zoom statt, Zugungsdaten im StudOn-Bereich

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF ME-BA-MG5 4-6
WPF EEI-BA-MIK ab 5
WPF EEI-BA-AET ab 5
WPF EEI-MA-MIK ab 1
WPF EEI-MA-AET ab 1
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
WPF ME-MA-MG5 1-3

Inhalt:

Die Vorlesung Einführung in Quantentechnologien vermittelt den Studierenden der Elektrotechnik die physikalischen Grundlagen von Quantentechnologien. Die Quantentechnologie ist eine neue Forschungsrichtung, die das Potential besitzt, aktuelle Technologien zu revolutionieren. In der Vorlesung werden relevante Themen aus der Quantenmechanik in Bezug auf Anwendungen im Bereich der Quantensensorik, Quantenkommunikation und Quantencomputer dargestellt. Im Bereich der Quantenmechanik sollen Grundlagen sowie quantenmechanische Effekte vermittelt werden, die für das Verständnis von Quantentechnologien wichtig sind.

Empfohlene Literatur:

• Haken, Herrmann & Wolf, Hans Christoph (2004): Atom- und Quantenphysik
  

• Nolting, Christoph (2009): Grundkurs Theoretische Physik 5/1: Quantenmechanik – Grundlagen
  

Übungen zu Quantentechnologien 1 [QTech1-Ü]

Dozentinnen/Dozenten:

Roland Nagy, Andre Pointner

Angaben:

Übung, 2 SWS

Termine:

Fr, 10:15 - 11:45, Hans-Georg-Waeber-Saal
Vorlesung findet über Zoom statt, Zugungsdaten im StudOn-Bereich

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF ME-BA-MG5 4-6
WPF ME-MA-MG5 1-3

Quantentechnologien 2 [QTech2-V]

Dozent/in:

Roland Nagy

Angaben:

Vorlesung, 2 SWS

Termine:

Di, 12:15 - 13:45, Hans-Georg-Waeber-Saal

Voraussetzungen / Organisatorisches:

Quantentechnologien 1 muss durch eine Prüfung erfolgreich abgeschlossen sein

Inhalt:

Die Vorlesung Quantentechnologien 2 vermittelt den Studierenden der Elektrotechnik die Anwendungen von Quantentechnologien. Die Quantentechnologie ist eine neue Forschungsrichtung, die das Potential besitzt, aktuelle Technologien zu revolutionieren. Den Studierenden wird in dieser Vorlesung die Funktionsweise von Quantensensoren, Quantennetzwerken und Quantencomputer vermittelt.

Empfohlene Literatur:

Matthias Homeister, Hans Christoph (2018): Quantum Computing verstehen
Stephen M. Barnett (2009): Quantum Information

Übungen zu Quantentechnologien 2 [QTech2-Ü]

Dozentinnen/Dozenten:

Roland Nagy, Andre Pointner

Angaben:

Übung, 2 SWS

Termine:

Mo, 10:15 - 11:45, Hans-Georg-Waeber-Saal

Reinraum- und Halbleiterpraktikum [RRPrak]

Dozentinnen/Dozenten:

Julius Marhenke, Tobias Dirnecker

Angaben:

Praktikum, 6 SWS, ECTS: 5, nur Fachstudium, Teilnahme an der Vorbesprechung (Uhrzeit wird noch bekannt gegeben) ist verpflichtend! Anmeldung bei StudOn notwendig. Praktikumszeiten donnerstags werden nach Gruppeneinteilung bekanntgegeben.

Studienrichtungen / Studienfächer:

PF NT-BA 5

Seminar Forschungsthemen der Quantentechnologien [SemQTech2]

Dozent/in:

Roland Nagy

Angaben:

Seminar, 2 SWS, ECTS: 2,5

Termine:

Mo, 8:15 - 9:45, 0.111

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF EEI-BA ab 5
WPF EEI-MA ab 1

Voraussetzungen / Organisatorisches:

Empfohlen: Vorlesung Einführung in die Quantentechnologien 1

Inhalt:

Im Seminar „Quantentechnologien 2“ sollen Studierende selbstständig aktuelle Erkenntnisse durch Publikationen analysieren. Diese Erkenntnisse sollen in Form eines wissenschaftlichen Vortrags und anschließender Diskussion vertieft werden.

Empfohlene Literatur:

Haken, Herrmann & Wolf, Hans Christoph (2004): Atom- und Quantenphysik
Nolting, Christoph (2009): Grundkurs Theoretische Physik 5/1: Quantenmechanik – Grundlagen

Seminar über Bachelorarbeiten [Sem BA]

Dozentinnen/Dozenten:

Michael Niebauer, Tobias Dirnecker

Angaben:

Seminar, 2 SWS, ECTS: 2,5

Termine:

Fr, 10:15 - 11:45, 0.111

Seminar über Masterarbeiten (Sem MA)

Dozent/in:

Tobias Dirnecker

Angaben:

Seminar, 2 SWS

Termine:

Fr, 14:15 - 15:45, 0.111
(Termine werden bekannt gegeben und sind auf der Homepage des Lehrstuhls zu finden

Technologie integrierter Schaltungen

Dozent/in:

Jörg Schulze

Angaben:

Vorlesung, 3 SWS, ECTS: 5, nur Fachstudium

Termine:

Do, 14:15 - 16:45, Hans-Georg-Waeber-Saal

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF BPT-MA-E 1-3
PF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-BA-MIK 5-6
PF EEI-MA-MIK 1-4
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
PF INF-NF-EEI 5
WPF ME-BA-MG4 3-6
WPF ME-MA-MG4 1-3
WF NT-MA ab 1

Inhalt:

Thema der Vorlesung sind die wesentlichen Technologieschritte zur Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltungen. Der erste Teil der Vorlesung beginnt mit der Herstellung von einkristallinen Siliciumkristallen. Anschließend werden die physikalischen Grundlagen der Oxidation, der Dotierungsverfahren Diffusion und Ionenimplantation sowie der chemischen Gasphasenabscheidung von dünnen Schichten behandelt. Ergänzend dazu werden Ausschnitte aus Prozessabläufen, wie sie heute bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltungen wie Mikroprozessoren oder Speicher verwendet werden, dargestellt und anhand von Bauelementen (Kondensator, Diode und Transistor) wichtige Prozessparameter und Bauelementeeigenschaften erläutert.

Übung zu Technologie integrierter Schaltungen

Dozent/in:

Jannik Schwarberg

Angaben:

Übung, 1 SWS, nur Fachstudium

Termine:

Do, 17:00 - 17:45, Hans-Georg-Waeber-Saal

Studienrichtungen / Studienfächer:

PF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-BA-MIK 5-6
PF EEI-MA-MIK 1-4
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
PF INF-NF-EEI ab 5
WPF ME-BA-MG4 3-6
WPF ME-MA-MG4 1-3
WF NT-MA ab 1
WPF BPT-MA-E 1-3

Zuverlässigkeit und Fehleranalyse integrierter Schaltungen

Dozent/in:

Peter Pichler

Angaben:

Vorlesung mit Übung, 2 SWS, benoteter Schein, ECTS: 4

Termine:

Mo, 10:15 - 11:45, 0.111

Studienrichtungen / Studienfächer:

WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF BPT-MA-E 1-3
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1

Inhalt:

Wirtschaftlicher Erfolg beim Einsatz elektronischer Bauelemente hängt unter anderem von deren Lebensdauer ab. Zu geringe Lebensdaueren führen zu überproportionalen Garantieleistungen und Ansehensverlusten der Marke, zu hohe Lebensdauern deuten auf zu hohe Produktionskosten oder zu hohe Sicherheitsreserven hin. Neben einer Einführung in die mathematische Beschreibung von Zuverlässigeitsbetrachtungen bietet die Vorlesung eine Diskussion der relevanten Ausfallmechanismen von elektronischen Bauelementen und eine Übersicht über die Fehleranalyse an ausgefallenen Bauelementen.

Schlagwörter:

Zuverlässigkeit, Fehleranalyse, Integrierte Schaltungen, Ausfallmechanismen, Messverfahren zur Qualitätssicherung